真空壓力傳感器的原理：

　　主要分為兩類：分別是半導(dǎo)體壓電阻型和靜電容量型，下面我們分別介紹一下它們的原理。

 

　　半導(dǎo)體壓電阻型：在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，通過外力使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。

 

　　靜電容量型：將玻璃的固定極和硅的可動(dòng)極相對(duì)而形成電容，將通過外力使可動(dòng)極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號(hào)。

 

　　真空壓力傳感器的用途：

　　由于結(jié)構(gòu)不同，可以分為測(cè)定絕對(duì)壓力、對(duì)大氣的相對(duì)壓力和差壓。測(cè)定絕對(duì)壓力時(shí)，傳感器內(nèi)自身帶有真空參考?jí)海鶞y(cè)壓力與大氣壓力無關(guān)，是相對(duì)于真空的壓力。對(duì)大氣的相對(duì)壓力是以大氣壓力為參考?jí)?，因此傳感器彈性膜一?cè)始終與大氣是連通的。由于大氣壓力與離地面的高度、四季中大氣中水汽含量的變化以及不同地點(diǎn)和組成大氣的各種氣體的含量的變化有關(guān)。因此，所測(cè)得的相對(duì)壓力便與上述因素有關(guān)。

 

　　此外，還可從傳感器彈性膜兩側(cè)分別導(dǎo)人流體壓力，這樣能測(cè)定流體不同地點(diǎn)或流體間的差壓。針對(duì)不同用途應(yīng)選用不同結(jié)構(gòu)的壓力傳感器。